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由中芯国际联合创始人王阳元、长江存储董事长&第八届中国半导体协会理事长陈南翔等人联合撰写的《构建自主可控集成电路产业体系》报告已经发布在我国的《科技导报》上面。
这些处于中国半导体产业一线的从业者们在报告当中提议，建议国内组建一个类似于ASML的公司，集成所有技术去攻克EUV光刻机，然后组建多个大型半导体集团，在EDA工具、制造设备、配套材料上面与外国企业进行竞争。
参考资料： 构建自主可控的集成电路产业体系
美国科技媒体Tom's HardWare对此分析称，中国半导体产业的这次建议很大胆，思路清晰，但其中还有许多碎片化的问题需要解决。
碎片化问题
首先就是设备问题，美媒认为，即便中国企业开发出了国产先进光刻机，那么也需要多年时间进行优化，提升其整体的经济性和可持续性。只有当原型机的制造效率足够高，才能进入下一步的规模化量产。
其次就是制造数据，ASML能成功，很大程度上归功于制造商常年累计的海量制造数据，这些数据可以帮助企业更好的优化产品并开发新设备，这需要常年的技术积累，也是中国半导体产业需要重点克服的问题。
ASML的初代EUV原型机在2006年交付给了比利时微电子中心进行测试，但是由于该设备的激光性能很弱，根本没办法制造芯片。后来美国西盟公司开发出了更高性能的激光，于是ASML就在2010年采用西盟公司的技术，制造了第二台EUV原型机TWINSCAN NXE:3100。
2019年，ASML的EUV光刻机实现量产，开始交付给台积电进行商业化使用。
从2006年至2019年，ASML一直在解决光刻机的制造效率以及量产问题。解决这个问题只靠ASML一家公司是完成不了的，必须要联合供应链以及制造工厂，依照彼此之间的技术数据进行优化。
ASML高级技术副总裁乔斯·本肖普在官方资料中表示，当时我们已经掌握设备的原理，但是我们却难以实现客户所需的生产效率。要记住，客户的研发阶段需要时间，这很重要。在EUV推出之后，芯片制造商需要一到两个节点才能使这项技术走向成熟，只有成熟掌握其使用方法，才能基于该设备量产商用产品。
深入合作
在根据制造数据来优化产品之前，首先要完成的工作就是把国产设备用起来。
我国中科院的陈国良院士，此前在接受采访时表示：我提出了一个口号，国产机不怕不好用，就怕你不用，只有用了才知道好不好用。你说哪里不行，你提出来，我改。你要是不用，那就因噎废食了，它永远不好用。
参考资料： 「链接」 https://v.douyin.com/NCbaoeE7b6Y/ kpD:/ 11/04 N@w.SL
陈院士对于国产设备的认知是非常具有前瞻性眼光的，并且陈院士认为，推动国产设备发展的前提是你得先用起来，不能看到国外的产品技术成熟度高，就一直拿钱买国外的设备用，从而忽视国产设备的发展。
在能获得国外设备的前提下，采购国外设备用是一种合作共赢的模式。但现在国外的许多设备不卖给你了，你应该怎么办？许多国产设备虽然不如国外的技术先进，但是能在关键时期拿出来用。
2025年，有记者再次就国产设备问题采访陈国良院士，咨询陈院士如今的观点。
陈院士依然肯定了自己当年的想法，并且还表示在技术团队以外的地方讲话，我们应该表扬宣传团队做出的贡献。但是在团队内部讲话，就要经常提出不好的地方让团队改进。用这种内外结合的方法，推动国产设备发展。
参考资料： 「链接」 https://v.douyin.com/eHWwo1u9xV4/
这就又回到了刚才的问题上，单独依靠制造企业或者设备企业自己的力量是无法完成产品优化的，必须联合整个产业链一起解决问题。
我国中科院院士、前中科院院长白春礼先生，曾重点分析了中国光刻机与外国光刻机存在的差别。
白院士指出，在六七十年代的时候，中国的光刻机与国外的差距并不大，那时候ASML公司还没有成立。但是后来进入全球化体系，国外的产品成熟、价格稳定、整体设计也很好，所以我们国内的设备就发展不起来了。
质谱仪、电镜这类产品我们都能做，但是国外的产品又好又便宜，很多企业本着经济性原则，选择采购国外的设备。但是现在反过来了，外国企业不卖给我们，那么好，我们自己就必须做了，这种倒逼机制也许会让我们的产业更上一层楼。
参考资料： 「链接」 https://v.douyin.com/4BMDY_rXrTs/ X@m.Dh VLw:/ 09/04
全球化的半导体产业链可以推动整个行业发展，也为合作的双方创造了各取所需的经济条件，但同时也让中国本土企业所开发的国产设备变成了第二选择目标。绝大部分企业都会考虑到稳定性和经济性，优先选择海外成熟设备，这就导致国产设备处于一个不温不火的尴尬境地。
美国的制裁让中国芯片产业出现了技术停滞，国产制造设备也在这种状态下被推上了风口浪尖。此时的产业链才真正意识到国产设备的重要性，开始大力度推进国产设备的技术发展，深化国内企业之间的合作。
虽然这个深化合作的时间来的晚了一些，但这是建立在推动国产半导体产业链自立自强的前提下所爆发出来的决心。
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